特許
J-GLOBAL ID：200903055045583230
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-192125
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004763
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】【課題】低コスト化が可能な加速度センサを提供する。【解決手段】センサ本体1は、重り部12が片持ち梁としての撓み部13を介して支持枠11に結合されている。各撓み部13には、それぞれ歪検出素子として2個ずつのゲージ抵抗が形成されている。センサ本体1の裏面側に接合されたカバー2において重り部12との対向面には重り部12の移動範囲を確保するための凹所2aが形成され、凹所2aの底面に重り部12の移動量を規制するための突起状のストッパ2bが形成されている。支持枠11の表面側において重り部12の両側の2点間に架け渡され重り部12の変位量を規制する線状のストッパ5を備えている。重り部12に加速度が作用したときの支持枠11に対する重り部12の移動量をストッパ2b,5で規制することによって撓み部13の折損を防止している。
請求項（抜粋）：
支持枠の表裏に貫通する開口窓内に配置した重り部が可撓性を有する撓み部を介して支持枠に一体に連結され、かつ重り部への加速度の作用により撓み部に生じる応力を検出する歪検出素子が設けられたセンサ本体と、センサ本体の裏面側において前記開口窓を覆うように支持枠に接合されたカバーと、支持枠の表面側において前記重り部の両側の2点間に架け渡され前記重り部の変位量を規制する線状のストッパとを備えることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01P 15/08
, H01L 29/84
G01P 15/12
, H01L 29/84 A
, G01P 15/08 P
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA22
, 4M112CA28
, 4M112EA13
, 4M112FA20
