特許
J-GLOBAL ID：200903055047814221
電子放出装置、電子源基板、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045677
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219152
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 低コストでかつ容易に大面積に表面伝導型電子放出素子およびそれを有する電子源基板、電子源、表示パネル、画像形成装置を提供する。【解決手段】 一対の素子電極2,3間に導電膜を形成する材料の溶液をインクジェット装置6によって液滴8の状態で付与する電子放出素子の製造方法であって、インクジェット装置と液滴を付与される素子電極との間に配置したシャッタ7と、閉じられた前記シャッタ上に付与された液滴の付与位置を検出する手段9,10と、この検出手段により得られる情報により液滴の付与位置を制御する手段11とを具備する。
請求項（抜粋）：
一対の素子電極間に導電膜を形成する材料の溶液をインクジェット装置によって液滴の状態で付与する電子放出素子の製造方法であって、インクジェット装置と液滴を付与される素子電極との間に配置したシャッタと、閉じられた前記シャッタ上に付与された液滴の付与位置を検出する手段と、この検出手段により得られる情報により液滴の付与位置を制御する手段とを具備することを特徴とする電子放出素子の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
