特許
J-GLOBAL ID：200903055056339730

メタルマスク用洗浄剤組成物

発明者：
近藤 真佐雄

近藤 真佐雄 について


出願人/特許権者：
旭化成工業株式会社

旭化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214859
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059688
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：
【要約】【解決手段】 一定の沸点を持ち、水溶性である1種または2種以上のグリコールエーテル系化合物25〜45重量%、一定の沸点と一定量の水溶性を持つ1種または2種以上のグリコールエーテル系化合物5〜25重量%、アミン系化合物0.005〜1.0重量化合物及び水を加えて100重量%となる組成物がメタルマスク用洗浄剤として格別の効果を得る。【効果】 本発明は、洗浄力に優れ、メタルマスクに対する悪影響が極めて少なく、環境非汚染特性にすぐれ、人に対しても低毒性のメタルマスク洗浄剤を提供する。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される化合物の中で、常圧における沸点が100°C以上200°C以下であり、かつ20°Cの水に自由混合する化合物より選ばれる1種または2種以上の化合物を、25〜45重量%、R1 O-(R2 O)n -R3 (1)(式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数2〜5のアルキレン基で直鎖または分枝をもつものでもよく、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基またはアシル基を示し、nは1〜2の整数で示される)(B)下記一般式(2)で表される化合物の中で常圧における沸点が100°C以上200°C以下であり、かつ20°Cにおける水への溶解度が20重量%以下である化合物より選ばれる1種または2種以上の化合物を、5〜25重量%、R1 O-(R2 O)n -R3 (2)(式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数2〜5のアルキレン基で直鎖又は分枝をもつものでもよく、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基またはアシル基を示し、nは1〜2の整数で示される)(C)下記一般式(3)で表される含窒素化合物、0.005〜1.0重量%(式中R4 は炭素数6〜20のアルキル基、m+nは2〜20で示される)(D)水、残量(29〜69.995重量%)を、含有することを特徴とするメタルマスク用洗浄剤組成物。
IPC (4件)：
C11D 7/60 ,  C11D 7:26 ,  C11D 7:32 ,  C11D 7:50
引用特許：
審査官引用 (6件)
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