光素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-245001
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104150
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】光通信、光データ伝送等における光伝送用受、発光モジュールとして応用される光素子において、光ファイバーの先端部分の位置決め精度の向上や、同一基板上に受光素子をモノリシックに形成したときの迷光の発生を防ぐことなどにより、光ファイバーと受光素子や発光素子とのカップリング効率の改善を図ることのできる光素子を提供する。【構成】基板1上に設けた光ファイバー整列用溝2を少なくとも有する光素子において、該整列用溝2の端面2aが基板表面に対して垂直な面より成っていることを特徴とし、さらに前記基板1はシリコン単結晶よりなる基板であり、該シリコン基板の表面の面方位が、{110}で表わされる面のうちの一つであり、且つ前記整列用溝2の少なくとも片方の端部が、{111}で表わされる面のうち基板表面に対して垂直な面により終端されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に設けた光ファイバー整列用溝を少なくとも有する光素子において、該整列用溝の端面が基板表面に対して垂直な面より成っていることを特徴とする光素子。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-267010
特開昭63-005310
光部品の結合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-049493 出願人：住友電気工業株式会社

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