特許
J-GLOBAL ID：200903055064021600
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149287
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340961
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 静電容量式加速度センサの固定電極側の設けたリード電極引出用のスルーホールのスムーズな完全充填を図り、信頼性,歩留まり向上を図る。【構成】 上下の固定電極11,21側のガラス基板10,20の間に可動電極3側のシリコン基板1がサンドイッチ構造で積層接合され、ガラス基板10,20間の少なくとも一方にスルーホール12が設けてある。スルーホール12には充填材16が充填される。基板1のうちスルーホール12と対向する位置及びその近辺にかけて充填材16を受け入れる溝部4が形成され、溝部4と連なって可動電極空間17と外部空間とに通じる空気抜き用の溝部4a,4bが形成され、溝部4bの一部が堤状の凸部5となって、凸部5により空気抜き溝を一部底上げして充填材の可動電極空間17への流れ込みを防止する。
請求項（抜粋）：
可動電極を弾性支持しつつ該可動電極の周囲に配置される基板と、一面に固定電極が形成してある基板とを備え、前記可動電極及び固定電極が空隙を保って対向するよう前記基板同士が積層接合してあり、前記固定電極側の基板にスルーホールが穿設されてこのスルーホールを介して前記固定電極のリード電極が前記基板の外面に引出してあり、該スルーホールには充填材が充填してある加速度センサにおいて、前記可動電極側の基板のうち前記スルーホールと対向する位置及びその近辺にかけて前記充填材を受け入れる溝部が形成され、且つこの溝部と連なって可動電極側の空間と外部空間とに通じる空気抜き用の溝部が形成してあることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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