特許

J-GLOBAL ID：200903055068305505

放電励起型ガスレーザ装置

発明者： 北原 正 ,  神戸 和之 ,  久野 耕司
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228647
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077566
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、励起回路のインダクタンスを小さくすることにより、ピーキングコンデンサに印加する電圧の立ち上がりを速めてブレークダウン電圧を高め、レーザガスを高い密度で励起することのできる放電励起型ガスレーザ装置を提供することにある。【構成】 本発明においては、励起回路の充電コンデンサC1 、スイッチング素子S.W.及びピーキングコンデンサC2 をガスレーザ管1内に配置したことを特徴とする。これにより、配線長さの短縮が可能となり、回路のインダクタンスL1が小さくなる。また、スイッチング素子S.W.を、マルチアーク放電による放電ギャップスイッチとすることで、スイッチング素子自体のインダクタンスも小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

レーザガスが封入されたガスレーザ管と、このガスレーザ管内に互いに対向して配置された第1及び第2の主放電用電極と、充電コンデンサに充電された電荷を、スイッチング素子を閉じることによりピーキングコンデンサに移行して、このピーキングコンデンサに並列に接続された前記主放電用電極間で放電を起こさせる励起回路と、を備える放電励起型ガスレーザ装置において、前記充電コンデンサ、前記スイッチング素子及び前記ピーキングコンデンサが前記ガスレーザ管内に配置されていることを特徴とする放電励起型ガスレーザ装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-206787
  
• 特開平4-067973
  
• 特開平1-128387