特許
J-GLOBAL ID：200903055072587213
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010823
公開番号（公開出願番号）：特開平6-223759
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【構成】 イオン源は、付着物の積層により運転を困難化させるウインドウ11およびシールド16が熱絶縁部材17により熱的にライナー5から独立されている。【効果】 付着物の積層により運転を困難化させるウインドウ11およびシールド16は、熱絶縁部材17により熱的にライナー5から独立されているため、熱の蓄積により高温状態となる。よって、ウインドウ11およびシールド16は、動作ガス等の付着物が接触した際に、付着物を温度差により急激に冷却させることがない。これにより、ウインドウ11およびシールド16は、熱絶縁部材17により単位時間当りの付着量が低減されることになる。
請求項（抜粋）：
動作ガスから生成されるプラズマ中のイオンを引き出してイオンビームを生成する際に、プラズマチャンバーに設けられた遮蔽部材に付着物が付着するイオン源において、上記遮蔽部材は、上記付着物の積層により運転を困難化させる特定部分が熱絶縁部材により熱的に独立されていることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
引用特許：
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