クライオポンプの再生方法及び再生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224153
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061232
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】短時間でクライオパネルの再生ができるクライオポンプの再生方法及び再生装置を提供すること。【構成】ポンプ運転中にガスを凝縮するクライオパネル面7,8、冷凍機6を具備するクライオポンプ1の再生装置であって、クライオパネル7,8を加熱するヒータ15,16,17、クライオパネル7,8面の温度を検出する温度センサーT1,T2、圧力センサーP、制御部18、クライオポンプ1内を減圧するターボ分子ポンプ11、粗引真空ポンプ12を具備し、クライオパネル7,8の面からガス放出終了後に、制御部18により、ヒータ15,16,17を制御し該クライオパネル面の温度をガス放出時と同一温度に維持したままターボ分子ポンプ11及び粗引真空ポンプ12でクライオポンプ内圧を1/103Pa以下まで急速減圧し、その後冷凍機6で第2段のクライオパネル8の面を20Kまで急速冷却する。

請求項（抜粋）：

ポンプ運転中にガスを凝縮及び/又は吸着する第1段及び第2段のクライオパネル面及び該クライオパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライオポンプの再生方法であって、前記第1段及び/又は第2段のクライオパネル面を一定温度に維持して該クライオパネル面からのガス放出終了後に、該クライオパネル面の温度を前記一定温度に維持したまま該クライオポンプの内圧を1/103Pa(パスカル)以下まで急速に減圧し、その後第2段のクライオパネル面を20Kまで急速冷却することを特徴とするクライオポンプの再生方法。

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