特許
J-GLOBAL ID：200903055084380649
誘電率計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275553
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108976
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 薄膜の局所的な強誘電体特性を評価する。【解決手段】 試料1に信号電圧を印加した状態で、試料1の膜厚の変化を、カンチレバー4の撓みとして、ビーム光源5および光位置検出器6により検出し、信号電圧の交流成分を参照信号として前記撓みをロックインアンプ10により同波検波し、かつ、探針4aと試料台2との間の静電容量を静電容量センサー8で検出して、これを信号電圧の交流成分を参照信号としてロックインアンプ10により同波検波し、ロックインアンプ9により同波検波して得られた膜厚の変化分、および、ロックインアンプ10により同波検波された静電容量の変化分に基づいて、誘電率に関する量を情報処理装置12により求める。
請求項（抜粋）：
計測すべき試料の局所的な微小領域で電圧の変化に対する誘電率の特性を計測する誘電率計測装置において、電極を有した試料台と、導電性の探針が一端に設けられ、他端が固定されたカンチレバーと、前記試料台に設置された試料と前記探針とを相対的に移動させる駆動機構と、前記探針および前記電極間に印加する任意の波形の電圧を発生させる信号源と、前記カンチレバーの変位を検出する変位検出部と、前記探針および前記電極間の静電容量を検出し、前記信号源から出力された電圧の変化に対する静電容量の変化の割合を出力する第1の検出部と、前記変位検出部で検出された信号のうち、前記信号源から出力された波形と同周期で変化する波形成分を検出して、前記信号源から出力された電圧の変化に対する前記カンチレバーの変位の割合を出力する第2の検出部と、前記第1の検出部で検出された信号と、前記第2の検出部で検出された信号とから、前記試料の電圧に対する誘電率の変化を出力する演算部とを有することを特徴とする誘電率計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 27/26 H
, G01N 37/00 F
