集塵用静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219852
公開番号（公開出願番号）：特開平8-080453
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【構成】誘電体中1に内部電極2を埋設してなる静電チャックの表面に捕集基板3を吸着して集塵用静電チャックを構成し、内部電極2に電圧を印加して捕集基板3上に電荷を発生させ、この静電気力でパーティクル5を吸着するようにした。【効果】半導体製造工程に用いれば、例えば真空チャンバー内で発生するパーティクル5を吸着して捕集することができ、半導体ウェハに悪影響を及ぼすことを防止できる。

請求項（抜粋）：

誘電体中に内部電極を埋設した静電チャックの上面に捕集基板を載置して成り、上記内部電極に電圧を印加することにより捕集基板に電荷を発生させてパーティクルを捕集するようにした集塵用静電チャック。

IPC (5件)：

B03C 3/47 , B03C 3/60 , B23Q 3/15 , F24F 7/00 , H01L 21/304 341

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