特許
J-GLOBAL ID:200903055086701272

ガスセンサおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-253200
公開番号(公開出願番号):特開平9-096622
出願日: 1995年09月29日
公開日(公表日): 1997年04月08日
要約:
【要約】【目的】 燃焼機器に搭載できる高信頼性のガスセンサでとくに、化学センサの最大の課題である電極・触媒の劣化に関わる耐久信頼性を高めたガスセンサを提供する。【構成】 3〜100Åに細孔を制御したセラミック製ガス選択透過膜1を用いて、この内部にガスセンサを収納するなどの構成を採ることで、センサの劣化につながる妨害・被毒ガスをセンサ機能部である電極・触媒膜の部分まで進入できなくした構造の半導体方式および固体電解質方式の一酸化炭素検知ガスセンサと本センサを工業的に信頼性高くしかも安価に製造するための製造方法。
請求項(抜粋):
一部の領域の細孔内に酸化触媒を担持した3〜100Åに細孔制御してなるセラミック製ガス選択透過膜上に、前記細孔内に酸化触媒を担持した領域および酸化触媒を担持してない領域に一対の電極を形成し、さらに酸素イオン導電体層およびセラミック絶縁体層および抵抗加熱ヒータ膜層を順次積層して成るガスセンサ。
IPC (3件):
G01N 27/409 ,  G01N 27/12 ,  G01N 27/416
FI (4件):
G01N 27/58 B ,  G01N 27/12 B ,  G01N 27/12 M ,  G01N 27/46 331
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • ガスセンサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-327168   出願人:東陶機器株式会社

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