特許
J-GLOBAL ID：200903055095586923
光学検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-283900
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142159
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 拡散反射物質や透過物質及び正反射物質や透明透過物質のいずれのモニタにも適し、検査ラインの背景が、連続する均等な光輝ストリップとして映る光学検査装置を提供する。【構成】 本装置は、直線光源11と、光源11の映像を形成する円柱凹面鏡10を有する照明手段と、ウェブ12上にモニタ用の帯状照射光31を発生させるために、光源11に平行に伸長した円柱軸線をもつ円柱ミラ10を具備する。光学システム24により、帯状照射光31の中心で物質ウェブ12上で伸長した検査ライン32の映像を、ダイオード列25の上に形成する。ダイオード列25は、電子処理回路26に接続され、円柱ミラ10は、円柱面に一列に配置された溝を有する。
請求項（抜粋）：
直線状に配置されたCCD配列の受光体上に検査ラインの映像を現像する観測装置と、CCD配列の受光体に結合された電子評価手段と、検査ラインの長さを超えて伸長し、光伝導ファイバから成る横断面コンバータの出力側及び円形断面の光ビームに適合するその入力側によって形成される直線状二次光源が設けられた照明手段とを有する光学検査装置において、直線二次光源が検査ライン上に円柱ミラによって映し出され、前記円柱ミラは、検査ラインで均等な高い輝度の帯状照射光を発生させるために、二次光源と平行にその全長を超えて延長形成されており、かつ前記円柱ミラがその軸線を横断に細密な波形及び溝を有することを特徴とする光学検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/84
, G01N 21/89
