特許
J-GLOBAL ID：200903055098886081
移動テーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009779
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198469
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 ローラガイド機構で案内される移動テーブル装置において、構造簡単にしてリテーナに与える衝撃を少なくして耐久性に優れた位置ずれを可能とし、リテーナの位置ずれ防止と修正の双方の機能を確実に発揮させる。【構成】 ローラガイド機構11,12のローラ11D,12D付きリテーナ11C,12Cには、移動方向の両端に係止片11C ́,12C ́を設け、テーブル1,2に対するリテーナ11C,12Cに位置ずれが生じた場合には、その位置ずれ量δに応じて実テーブル移動範囲Sx+Sx ́,Sy+Sy ́の内外で係止片11C ́,12C ́がテーブル1,2側に設けた移動側直線ガイド12B(テーブル2側の直線ガイドは図示せず)一端に接触するように構成し、リテーナのずれ修正を行う。
請求項（抜粋）：
直線移動制御が可能なテーブルに設けた第1の直線ガイドと、前記テーブルを搭載するもう一方のテーブル或いはベースに設けた第2の直線ガイドとの間に直線ガイドに沿って移動可能なローラを保持するリテーナを介在させて成る移動テーブル装置において、前記リテーナには、その移動方向の両端に前記第1の直線ガイドの端面又は第1の直線ガイド側のテーブルの端面と対向する係止片を設け、この係止片が、前記第1の直線ガイド側のテーブルと前記リテーナとに相対的な位置ずれが生じた場合に、そのずれ量に応じて実テーブル移動範囲(テーブルが使用時に移動し得る規定の範囲)の内外で第1の直線ガイド端面或いは第1の直線ガイド側のテーブル端面と接触するよう設定してリテーナ自動ずれ修正機構を構成したことを特徴とする移動テーブル装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 301 Z
, H01L 21/30 341 L
