特許
J-GLOBAL ID：200903055108422550
コーティング工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-156261
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170609
出願日： 1991年05月31日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】母材の組成及びその組織、膜の結晶性及びその組成・組織に加えて、製法上の原理や装置の幾何学的構成など切削工具の総合的な改良をはかる。【構成】工具の母材質が高速度鋼、超硬合金、サーメット、セラミックのうちの一種であり、ロックウエルCスケール硬さHRC65以上で、表面に金属成分中にTiを50%以上含み、ガス成分が結果として炭素、窒素、酸素のうちの少なくとも一種を含むTi系セラミックを被覆する。Ti系セラミック膜の主成分はTi<SB>x </SB>(C<SB>u </SB>N<SB>V </SB>O<SB>W </SB>)であり、AESあるいはESCAによる深さ分析においてu+v+w=y/x<1となる成分がセラミック膜の成分の70%以上を占める。【効果】コーティングにより母材に及ぼす靱性の低下は微小であり、工具寿命が向上し、工具表面には圧縮応力状態と同程度の圧縮応力がかかり、密着性が改善され、工具の総合的なバランスが向上する。
請求項（抜粋）：
母材質が高速度鋼、超硬合金、サーメット、セラミックのうちの1であり、母材がロックウエルCスケール硬さHRC65以上を有し、表面に被膜を有するコーティング工具であって、その作用部分が以下のa)乃至d)の条件を満足させる切削用または成形用のコーティング工具。a)被膜が反応性イオンプレーティングあるいは反応性スパッタリングを用いて形成されたTi系セラミックであり、金属化合物の金属成分中にTiを50%以上含み、ガス成分が結果として炭素、窒素、酸素のうち少なくとも1種を含んでいる。b)Ti系セラミック膜の主成分はTi<SB>x </SB>(C<SB>u,</SB>N<SB>v,</SB>O<SB>W </SB>)であり、オージェ電子分光分析(AES)あるいはエスカ(ESCA)による深さ分析においてu+v+w=yのときy/x<1となる成分がセラミック膜の成分の70パーセント以上を占める。c)切削あるいは成形に関与する膜部分は、荷重50gのときのマイクロビッカース硬さがHv1300乃至3300の範囲、膜厚が2〜8μm、セラミック膜表面の80%以上がRa5μm以下の面粗さとなるように母材質表面に加工が施されている。d)工具が破壊されない測定範囲において通常のロックウエル(Cスケール)硬度計を用いて押しつけた場合の圧痕を100倍の倍率で観察した結果、圧痕の周囲1mm以上(外側)の範囲で膜の剥離が認められないような強い密着性を持っている。
IPC (6件)：
B23B 27/14
, B23B 51/00
, B23C 5/16
, B23P 15/28
, C22C 29/04
, C23C 14/00
