特許

J-GLOBAL ID：200903055108807428

フォトマスク用基板

発明者： 三代 均
出願人/特許権者： 水戸旭ファイン硝子株式会社 ,  旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168590
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356849
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】多種類のフォトマスク用基板の識別を容易にする。【解決手段】略矩形のフォトマスク用基板1のコーナー部において、主表面とコーナー部を形成する2つの端面との3面を斜断面状に切り落としてなるノッチマーク2を少なくとも1以上設け、ノッチマーク2が、コーナー部を含む対角線に対し非対称形状であることを特徴とするフォトマスク用基板1とする。

請求項（抜粋）：

略矩形のフォトマスク用基板であって、該矩形のコーナー部において、主表面と該コーナー部を形成する2つの端面との3面を斜断面状に切り落としてなるノッチマークを少なくとも1以上有し、該ノッチマークが、該フォトマスク用基板の該コーナー部を含む対角線に対し非対称形状であることを特徴とするフォトマスク用基板。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 A ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (6件)：

2H095BA01 ,  2H095BC27 ,  2H095BC28 ,  2H095BE04 ,  2H095BE08 ,  2H095BE09