特許
J-GLOBAL ID：200903055116676774
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337186
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178758
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 試料に対して探針が3方向に走査していく走査型プローブ顕微鏡の非直線的走査を従来より高精度に補正すると共に、表面に人為的に形成された凹凸部の悪影響を回避する。【解決手段】 走査部の非直線的走査から得られた検出値27を3次元平面で補正して、補正値の精度を上げると同時に、試料6の表面に形成されている電極などの凸部33及び凸部の周囲の影響部36の検出値を基準値の計算より除き、特異な凹凸の影響が微小走査装置から得られる表面特性図に現れないようにする。
請求項（抜粋）：
特異な凹凸及びランダムな凹凸を有する試料と、該試料に対して相対運動して試料との間の物理特性を検出する探針と、該探針と前記試料とを相対運動させる走査部とを備えた走査型プローブ顕微鏡において、走査部の非平面的駆動軌跡を補正するために、探針で検出される物理特性に3次元曲面を用いる補正を行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 Z
