特許
J-GLOBAL ID：200903055122348150

圧力検出装置用パッケージ

発明者：
木野村 浩司

木野村 浩司 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-297624
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107254
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：
【要約】【課題】 小型で高感度であり、外部の圧力を正確に検出可能な圧力検出装置を提供すること。【解決手段】 一方の主面に半導体素子3が搭載される絶縁基体1の他方の主面に静電容量形成用の第一メタライズ電極7を設けるとともに、この第一メタライズ電極7に対向する静電容量形成用の第二メタライズ電極9を内側主面に有する絶縁板2を、絶縁基体1との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で絶縁基体1にろう付けした圧力検出装置用パッケージであって、絶縁板2は、その内側面が平坦で、かつその外周部の厚みがその中央部の厚みよりも厚い。
請求項（抜粋）：
一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面の中央部に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記他方の主面に、前記中央部との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で外周部がろう付けされた絶縁板と、該絶縁板の内側面に前記第一電極に対向して被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備する圧力検出装置用パッケージであって、前記絶縁板は、その内側面が平坦で、かつその外周部の厚みがその中央部の厚みよりも厚いことを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (15件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055FF23 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA42 ,  4M112EA12 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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