特許
J-GLOBAL ID:200903055123486743

コンデンサ用蒸着フィルムの寸法計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 芦田 直衛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-074249
公開番号(公開出願番号):特開平5-335180
出願日: 1991年03月15日
公開日(公表日): 1993年12月17日
要約:
【要約】【目的】 蒸着部とマージン部とが交互に形成された金属蒸着フィルムの前記蒸着部ならびにマージン部の幅寸法、特にスリット後における前記幅寸法を、精度よく、かつオンライン下に計測する方法を得ること。【構成】 前記フィルムの前記蒸着部とマージン部とを乱反射部材の表面を接触通過させつつ反射照明方式により、光電変換カメラにより計測するようにした計測方法であり、前記カメラを2個所に設け、第一のカメラでスリット前のフィルムを透過照明方式により測定した後、スリット後の蒸着フィルムを2軸に分けて巻き取り、第二のカメラによって一方の軸に巻き取られるフィルムを反射照明方式で測定し、第一のカメラによる測定値から第二カメラの測定値を減算して検出する方法を含む。
請求項(抜粋):
基材フィルムの流れ方向に対して連続する金属蒸着面(蒸着部)と非蒸着面(マージン部)とを交互に形成させて成る金属蒸着フィルムであって、かつそのフィルムの蒸着部ならびにマージン部の中央部を流れ方向にスリットしたフィルムを対象として、スリット後におけるマージン部の幅寸法を乱反射部材の表面を接触通過させつつ反射照明方式により光電変換カメラを用いて計測するようにしたことを特徴とするコンデンサ用蒸着フィルムの寸法計測方法。
IPC (3件):
H01G 4/24 331 ,  G01B 11/02 ,  H04N 7/18

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