特許

J-GLOBAL ID：200903055133087464

可視光下で光触媒性を示す酸化チタン膜及びその製造方法

発明者： 山本 春也 ,  住田 泰史
出願人/特許権者： 日本原子力研究所
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-323194
公開番号（公開出願番号）：特開2003-126700
出願日： 2001年10月22日
公開日（公表日）： 2003年05月07日
要約：

【要約】【課題】 数十nm程度の非常に薄い厚さで平滑な膜の作製が可能なレーザアブレーション成膜法による蒸着とその後の熱処理により、酸素欠損を含まない、即ち、熱的に安定で、可視光下で光触媒性を示す酸化チタン膜を作製することである。【解決手段】 本発明では、レーザアブレーション成膜法を用いて(0001)面方位のサファイア単結晶基板上に室温付近(20°C)で酸化チタンを蒸着し、その後、空気中で熱処理させることにより、可視光下で光触媒性を示す酸化チタン膜を作製する。

請求項（抜粋）：

サファイア基板上に成膜したルチルとアナターゼ結晶構造のTiO2及びTi2O3が含まれた酸化チタン膜が可視光下で光触媒性を示すことを特徴とする、光触媒酸化チタン膜。

IPC (5件)：

B01J 35/02 ,  B01J 21/06 ,  B01J 37/02 301 ,  C01G 23/04 ,  C23C 14/08

FI (5件)：

B01J 35/02 J ,  B01J 21/06 M ,  B01J 37/02 301 P ,  C01G 23/04 C ,  C23C 14/08 E

Fターム (30件)：

4G047CA02 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA01A ,  4G069BA01B ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BC50A ,  4G069BC50B ,  4G069DA06 ,  4G069EC22X ,  4G069EC22Y ,  4G069EC25 ,  4G069FA01 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4K029AA07 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BB07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA02 ,  4K029DB20