特許
J-GLOBAL ID：200903055136849829
静圧気体軸受
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193310
公開番号（公開出願番号）：特開2001-020951
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】 移動体及び固定体に対して直接接続される配管を無くし、軸受周辺の空間において配管引き回す必要がない静圧気体軸受を提供する。【解決手段】 軸受が設置される定盤上に給気穴及び排気穴を設け、該給気穴、排気穴を通じて気体の給排気を行うことで、軸受に直接配管を接続する必要を無くす。
請求項（抜粋）：
定盤上に設置され、移動体と固定体とから成り、エアパッド周囲に強制排気機構を有し、真空中で使用可能な静圧気体軸受において、前記強制排気機構が定盤に設けられた排気穴に接続されており、該排気穴を通じて気体の排気が行われることを特徴とする静圧気体軸受。
Fターム (11件)：
3J102AA02
, 3J102BA06
, 3J102BA09
, 3J102CA16
, 3J102CA19
, 3J102EA02
, 3J102EA08
, 3J102EA13
, 3J102EA22
, 3J102EA23
, 3J102GA19
