特許
J-GLOBAL ID：200903055144734070
パーテイクルカウンタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326458
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136244
出願日： 1991年11月14日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 空気中用パーティクルカウンタにおいて、サンプリングをなくし、かつパーティクルの空間分布がわかるようにする。【構成】 レーザ101及び光学レンズ系103並びに受光素子105を設置した支持台106を、回転機構107により周回させる。【効果】 レーザ,光学レンズ系,受光素子を設置した支持台106が周回しながらパーティクルを測定するので、サンプリングの必要がなく、in-situ(その場)での測定ができ、かつ、パーテイクルの空間分布もわかる。
請求項（抜粋）：
光源のレーザと、光源からのレーザ光を細くしぼるための光学レンズ系と、レーザ光を受光するための受光素子と、レーザ,光学レンズおよび受光素子を設置した支持台と、受光素子からの電気信号をパーテイクルの個数と粒径とに変換する制御処理回路と、前記支持台を周回させる回転機構とを有することを特徴とするパーティクルカウンタ。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 15/14
, H01L 21/02
