圧電振動片の加工方法及び加工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259089
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085963
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】レーザ光による周波数調整の際の1工程における周波数の調整量を小さくして、精密に周波数調整でき、高精度の圧電振動子等を提供すること。【解決手段】少なくとも一部が透光性材料でなるパッケージ18内に圧電振動片13を収容し、外部より、前記圧電振子片の所定の金属被覆部の金属被膜13bに対して前記透光材料16を介してレーザ光を照射してトリミング加工することにより周波数調整する方法であって、光源からのレーザ光のパワーを調整するとともに、前記レーザ光の波長を700nm以下に設定して、短焦点の光集束手段により前記金属被膜に集光させる。

請求項（抜粋）：

圧電振動片をパッケージ内に収納し、前記圧電振子片の所定の金属被覆部の金属被膜に対してレーザ光を照射してトリミング加工することにより周波数調整する加工方法であって、レーザ光発生手段からの波長700nm以下のレーザパワーを調整するとともに、前記レーザ光を短焦点の光集束手段により前記金属被膜に集光させることを特徴とする圧電振動片の加工方法。

FI (2件)：

H03H 3/04 B , H03H 3/04 A

Fターム (2件)：

5J108NA03 , 5J108NB05

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-262311
特開平3-243010
圧電振動部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-167791 出願人：ティーディーケイ株式会社

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