特許
J-GLOBAL ID：200903055153068067
プローブユニットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222013
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051971
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 歩留りを高めることにある。【解決手段】 フィルム状プローブユニットの製造方法は、ばね層と電気絶縁層とを重ねたベース部材を形成し、互いに平行に伸びる多数の配線部を備える配線パターンを電気絶縁層のばね層と反対の側の面のほぼ全体に形成し、配線部の欠陥箇所を検査し、複数の配線部の一部を含む1以上のユニット領域を配線パターンに配線部の欠陥箇所を避けて決定する。これにより、欠陥箇所を含まない複数のプローブユニットがシート状のベース部材に形成されるから、歩留りが向上する。
請求項（抜粋）：
平板状の主部から並列的に伸びる細長い複数のプローブ領域を有するプローブユニットを製造する方法であって、ばね層と電気絶縁層とを積ねたシート状のベース部材を形成し、互いに平行に伸びる多数の配線部を備える配線パターンを前記電気絶縁層の前記ばね層と反対の側の面に形成し、前記配線部の欠陥箇所を検査し、複数の配線部の一部を含む1以上のユニット領域を前記配線パターンに前記欠陥箇所を避けて決定することを含む、プローブユニットの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
