サセプターの支持構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-029119
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373837
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】サセプターと支持部材との取付構造において、サセプターから支持部材中へと伝達される熱を抑制すると共に、サセプターを高温にしたときにも支持部材に集中する応力を緩和する。【解決手段】取付構造は、被処理物を加熱するためのサセプター2と、サセプター2に接合されており、内側空間6が設けられている支持部材7と、支持部材7に接合されている開口が設けられたチャンバーとを備える。チャンバーの開口と支持部材の内側空間とが連通しており、支持部材の内側空間がチャンバーの内部空間に対して気密に封止されている。支持部材7が、筒状の本体部分7bと支持部材7のサセプター2側の端部に設けられた拡径部7aとを備える。支持部材7の縦断面の外側輪郭7fにおいて本体部分7bと拡径部7aとの間に一つのアール部分13または複数の連続したアール部分が設けられている。

請求項（抜粋）：

被処理物を加熱するためのサセプター、およびこのサセプターに接合されており、内側空間が設けられている支持部材を備えている支持構造であって、この支持構造が、開口が設けられたチャンバーを前記支持部材に接合し、前記チャンバーの前記開口と前記支持部材の前記内側空間とを連通させ、前記支持部材の前記内側空間を前記チャンバーの内部空間に対して気密に封止するための支持構造であり、前記支持部材が、筒状の本体部分と、前記支持部材の前記サセプター側の端部に設けられた拡径部とを備えており、前記支持部材の縦断面の外側輪郭において前記本体部分と前記拡径部との間に一つのアール部分または複数の連続したアール部分が設けられていることを特徴とする、サセプターの支持構造。

IPC (4件)：

H01L 21/02 , H01L 21/68 , H05B 3/06 , C04B 35/00

FI (4件)：

H01L 21/02 Z , H01L 21/68 N , H05B 3/06 B , C04B 35/00 H

Fターム (21件)：

3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092TT08 , 3K092VV26 , 3K092VV31 , 3K092VV34 , 4G030AA36 , 4G030AA51 , 4G030BA20 , 4G030BA33 , 4G030CA07 , 4G030GA36 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031PA11

引用特許：

審査官引用 (1件)

特許第6423949号

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