特許

J-GLOBAL ID：200903055160720551

照明光学装置

発明者： 工藤 祐司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128641
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188174
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】簡素な構成としながらも、高い照明効率を維持できる高性能な照明光学装置の実現にある。【構成】光束を供給する光源と、所定形状の開口部を有する回転対称型反射鏡と、該回転対称型反射鏡によって集光された前記光源からの光束を平行光束に変換するコリメート光学系と、該平行光束によって複数の2次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段からの光束を集光して被照射物体を均一に照明するためのコンデンサー光学系とを有し、前記コリメート光学系は、前記回転対称型反射鏡の開口部近傍の反射領域の像を前記多光源形成手段の入射面に形成し、前記回転対称型反射鏡における前記開口部から最も離れた反射領域の像を前記多光源形成手段の入射面から離れた位置に形成する。

請求項（抜粋）：

光束を供給する光源と、所定形状の開口部を有する回転対称型反射鏡と、該回転対称型反射鏡によって集光された前記光源からの光束を平行光束に変換するコリメート光学系と、該平行光束によって複数の2次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段からの光束を集光して被照射物体を均一に照明するためのコンデンサー光学系とを有し、前記コリメート光学系は、前記回転対称型反射鏡の開口部近傍の反射領域の像を前記多光源形成手段の入射面に形成し、前記回転対称型反射鏡における前記開口部から最も離れた反射領域の像を前記多光源形成手段の入射面から離れた位置に形成する特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521