平面研磨板及びこれを用いた平面研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320852
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155729
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】平面ラップ盤等による平面研磨において、種々のワーク形状に容易に対応でき、製造コストも低減できる新規のキャリア板を提供することにあり、また、ワークの衝撃荷重を抑制できるとともに磨耗にも強いキャリア構造を実現する。【解決手段】キャリア板20において、硬質材料で形成された外枠部材21の外周に刻設された遊星歯車部21aは、太陽歯車14と、内歯歯車15の双方に噛合している。外枠部材21の内側には平面矩形状の第1開口部21bが形成され、この第1開口部21bに対して、平面矩形状の軟質材料で形成された内枠部材22が嵌合している。内枠部材22の内側には第2開口部22aが形成され、この第2開口部22aにワーク17が嵌合している。

請求項（抜粋）：

相互に回転する2つの定盤間に挟持された状態でワークを保持して平面研磨を行う平面研磨板であって、その内側に第1開口部を備えた硬質の外枠部材と、該第1開口部に嵌合するように構成され、その内側に前記ワークを収容する第2開口部を備えた軟質の内枠部材とを有することを特徴とする平面研磨板。

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