特許
J-GLOBAL ID：200903055164722443
回転カップ式塗布装置及び塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295208
公開番号（公開出願番号）：特開平7-144167
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハ表面に整流板をできるだけ接近させて乱流の発生を抑制する。【構成】 インナーカップ用蓋体10の軸部11内には流体室13が形成され、この流体室13内には貫通孔15を介して下方から整流板16の上面中央部に設けた軸部17を挿入している。この軸部17の上端にはフランジ部18が形成され、このフランジ部18と流体室13底部の間にスプリング19を配設し、整流板16を上方に付勢している。そして、予備回転で塗布液が広がったら流体室13に作動油或いは空気を供給し、整流板16を下げ整流板16とウェーハWとの間隔をできるだけ狭くした状態で高速の本回転を行い、ウェーハWの表面に滴下した塗布液を遠心力により均一に拡散塗布する。
請求項（抜粋）：
スピンナーにて回転せしめられるインナーカップの外側にアウターカップを固設し、インナーカップ内にインナーカップと一体回転可能にチャックを配置し、このチャックに被処理物を保持せしめ、インナーカップの上面を蓋体で閉じ、インナーカップを回転することで被処理物表面に滴下した塗布液を拡散するようにした回転カップ式塗布装置において、前記インナーカップ用の蓋体は被処理物表面と対向する整流板を備え、この整流板は蓋体に対して昇降動可能に支持されていることを特徴とする回転カップ式塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
