特許

J-GLOBAL ID：200903055172069236

高安定弾性表面波素子

発明者： 鈴木 勇次
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社 ,  鈴木 勇次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204616
公開番号（公開出願番号）：特開平7-046079
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】常温近傍の比較的広い温度範囲に亘って周波数温度特性を改善し、バルク波を利用するATカットと同等あるいはそれ以上の周波数温度特性を呈する弾性表面波素子を提供することを目的とする。【構成】圧電基板表面近傍を伝搬するSH型弾性表面波を利用すべく前記圧電基板表面に少なくとも一の比較的質量の重い金属材料から成るインタディジタルトランスジューサ(IDT)電極を配設した弾性表面波素子に於いて、結晶X軸を回転の中心としてXY平面に対するカットアングルθが27 ゚乃至37 ゚の範囲となるように切り出した水晶基板を前記圧電基板として用いたものであって、前記SH型弾性表面波の位相速度伝搬方向と結晶X軸との成す面内回転角ψが概ね75 ゚≦|ψ|<90 ゚となるよう前記IDT電極を構成したもの

請求項（抜粋）：

圧電基板表面近傍を伝搬するSH型弾性表面波を利用すべく前記圧電基板表面に少なくとも一の比較的質量の重い金属材料から成るインタディジタルトランスジューサ(IDT)電極を配設した弾性表面波素子に於いて、結晶X軸を回転の中心としてXY平面に対するカットアングルθが27 ゚乃至37 ゚の範囲となるように切り出した水晶基板を前記圧電基板として用いたものであって、前記SH型弾性表面波の位相速度伝搬方向と結晶X軸との成す面内回転角ψが概ね75 ゚≦|ψ|<90 ゚となるよう前記IDT電極を構成したことを特徴とする高安定弾性表面波素子。