特許
J-GLOBAL ID：200903055173155470
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260207
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109702
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 二次電子増倍管のゲインを容易にかつ高速に変更することにより安定したデュアルモードの測定が可能な誘導結合プラズマ質量分析装置を実現する。【構成】 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンを二次電子増倍管に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、二次電子増倍管に負の高電圧を印加する高電圧源21と、外部からの制御により高速に負の低電圧を発生して、高電圧源が発生する負の高電圧に重畳する低電圧源とを備えたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
請求項（抜粋）：
高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンを二次電子増倍管に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、二次電子増倍管に負の高電圧を印加する高電圧源(21)と、高電圧源(21)が発生する負の高電圧に重畳する負の低電圧を外部からの制御により高速に発生する低電圧源(22)とを備えたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (3件)：
G01N 27/62
, H01J 43/04
, H01J 49/26
