特許

J-GLOBAL ID：200903055173541044

レーザ光強度分布補正装置

発明者： 岩崎 誠司 ,  出口 祥啓
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113822
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297091
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【目的】短時間で正確なレーザ光強度分布の補正を行なえるレーザ光強度分布補正装置を提供すること。【構成】発生されたレーザ光(2)をシート状にしたレーザシート4を測定部5へ照射する照射手段(31,32)と、この照射手段(31,32)と前記測定部5との間に設けられ、スリット14または遮光板を前記レーザシート4内でその幅方向へ移動させる移動手段(13)と、前記照射手段(31,32)と前記測定部5との間に設けられ、前記レーザシート4を所定方向へ反射させる反射手段(8)と、この反射手段(8)で反射されたレーザシートと前記測定部5に照射されたレーザシートを個別に検出する検出手段(9,6)と、を備え、前記検出手段(9,6)による各検出結果を対応させることでレーザ光強度分布を補正する。

請求項（抜粋）：

発生されたレーザ光をシート状にしたレーザシートを測定部へ照射する照射手段と、この照射手段と前記測定部との間に設けられ、スリットまたは遮光板を前記レーザシート内でその幅方向へ移動させる移動手段と、前記照射手段と前記測定部との間に設けられ、前記レーザシートを所定方向へ反射させる反射手段と、この反射手段で反射されたレーザシートと前記測定部に照射されたレーザシートを個別に検出する検出手段と、を具備し、前記検出手段による各検出結果を対応させることでレーザ光強度分布を補正することを特徴とするレーザ光強度分布補正装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  G01J 1/02 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/64

FI (4件)：

G01M 11/00 T ,  G01J 1/02 K ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/64 Z