特許
J-GLOBAL ID：200903055174221140
静電チャックとウェハ吸着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091873
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297266
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、静電チャックの交換の手間を省き、全てのウェハのサイズに対応できる静電チャックを用いたウェハ吸着方法を提供する。【構成】 吸着する複数種類のウェハ1の最大サイズに外径が一致し、該ウェハ1のそれぞれのサイズに対応した複数の同心円状に分割され、且つ、中心の最小サイズの第1の静電チャック2aを除く個々の分割された静電チャック2が個々に下方移動可能な構造と、中心の最小サイズの第1の静電チャック2aを除く個々の分割された静電チャック2に対応した形状で中心ならびに下方に移動可能な静電チャック保護用の保護板3が左右に半等分ずつ設けられている構造とを有する。
請求項（抜粋）：
吸着する複数種類のウェハ(1) の最大サイズに外径が一致し、該ウェハ(1) のそれぞれのサイズに対応した複数の同心円状に分割され、且つ中心の最小サイズの第1の静電チャック(2a)を除く個々の分割された静電チャック(2) が個々に下方移動可能な構造と、中心の最小サイズの第1の静電チャック(2a)を除く個々の分割された静電チャック(2) に対応した形状で中心ならびに下方に移動可能な静電チャック保護用の保護板(3) が左右に半等分ずつ設けられている構造とを有することを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
