特許

J-GLOBAL ID：200903055179591248

レーザプラズマ発生方法およびその構造

発明者： 望月 孝晏
出願人/特許権者： 望月 孝晏
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-109587
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303696
出願日： 2002年04月11日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】 ターゲットが液体/固体でありながらガス発生量を少くでき、かつターゲットから発生するX線の変換効率又は発生効率を向上できる。【解決手段】 ノズル10のターゲット材噴出口11の中心軸に楔型の芯材50を備え、ターゲット材噴出口11から中空部分を有する筒形状でターゲット材20を噴出させ、直径φ・壁厚部22の厚さτの中空筒状ターゲット21を生成する。レーザビーム30は集光照射点40でほぼ直径φを有するように中空筒状ターゲット21をヒットする。芯材は先端部中央にガス噴出口を設けて、ガスを噴出することにより中空筒状ターゲット21の中空部23の形成を助成できる。複数のレーザビームを中空筒状ターゲット21の中心軸に垂直な一つの面上で等間隔角度に設けることにより、集光照射点40で壁厚部22の表面を均等に照射することができる。

請求項（抜粋）：

固体および液体の少なくとも一方でありかつ流体をなす物質をターゲット材とし、該ターゲット材をノズルから柱状に噴出させてジェット流に形成される一つの噴流ターゲットに連続パルスによりレーザビームを集光照射することにより前記ターゲット材を加熱して高温高密度プラズマを生成するものであって、前記ノズルから噴出する前記噴流ターゲットに中空部を生成して単一の中空筒状ターゲットを形成することを特徴とするレーザプラズマ発生方法。

IPC (5件)：

H05G 2/00 ,  G21K 5/02 ,  G21K 5/08 ,  H01L 21/027 ,  H05H 1/24

FI (5件)：

G21K 5/02 X ,  G21K 5/08 X ,  H05H 1/24 ,  H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S

Fターム (6件)：

4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB21 ,  4C092AC08 ,  4C092AC09 ,  5F046GC03