特許

J-GLOBAL ID：200903055180737884

局所クリーン化装置

発明者： 竹林 幹男 ,  木村 悌一 ,  末光 敏行
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336226
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190437
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 クリーンを必要とする製造のコストダウン。【構成】 空気の出口を有し、製造環境を仕切る仕切り部分とワーク搬送ラインに向かってのみ送風し、かつその送風量を変えれるHEPAフィルターとを有するクリーン化装置により、ワーク搬送ラインをクリーンルーム以上にクリーン化でき、かつ初期コスト・維持コストともクリーンルームを大きく下回る。

請求項（抜粋）：

クリーンを必要とする生産ラインにおいて、ワーク搬送高さよりも低い位置に空気の出口を有し、外部一般環境と生産環境を仕切る仕切り部分と、ワーク搬送ライン部に向かってのみ送風ができ、かつその送風量が変えられるHEPAフィルターとを有することを特徴とする局所クリーン化装置。