特許
J-GLOBAL ID：200903055184142249
走査電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298396
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150869
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、振り戻し用電子レンズの励磁制御のみで、低倍率でも観察視野が広く、高倍率時に透過電子線用の絞りで所望の散乱角を取り除くことのできるSTEM像観察装置付き走査電子顕微鏡またはその類似装置を提供すること。【構成】本発明は、透過した電子線を振り戻すのに、偏向コイルのかわりに電磁または静電レンズを使用する点と、試料と絞りの間の振り戻し用の電磁または静電レンズを低倍率と高倍率で異なった制御を行う。
請求項（抜粋）：
電子源から放出された電子線を加速する手段と、その加速された電子線を試料上で収束させる手段と、その収束された電子線を試料上で走査する手段と、試料から発生する二次電子または反射電子を検出するための検出器と、試料を透過した電子線を検出するための検出器と、検出器の信号を走査電子顕微鏡像として陰極線管等に表示する手段と、前記試料と前記透過電子検出器の間に散乱した電子を取り除くための透過電子用絞りとを備えた走査電子顕微鏡において、試料と、前記透過電子用絞りとの間に軸対称な電子レンズを設け、一次電子線の走査量に対応して該電子レンズを制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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