特許

J-GLOBAL ID：200903055187828419

ダイシング用粘接着テープ

発明者： 喜多 賢二 ,  盛島 泰正 ,  石渡 伸一
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 飯田 敏三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-396708
公開番号（公開出願番号）：特開2005-159069
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】 ダイシング用粘接着テープは、粘接着剤中の接着成分にはエポキシ樹脂のような低分子量物質が多く含まれているため、ダイシング時に粘接着剤が軟化して、ヒゲ状の切削屑が多く発生しICなどの半導体装置組立工程での接着不良や不良品の発生する欠点を持つが、このような欠点のないダイシング用粘接着テープを提供する。【解決手段】 基材フィルム上に粘着性を有する粘接着剤層が形成されたダイシング用粘接着テープであって、25°Cでの粘接着剤層の弾性率が1×105Pa以上で、且つ、80°Cでの粘接着剤層の弾性率が1×104Pa以上であるダイシング用粘接着テープ。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

基材フィルム上に粘着性を有する粘接着剤層が形成されたダイシング用粘接着テープであって、25°Cでの粘接着剤層の弾性率が1×105Pa以上で、且つ、80°Cでの粘接着剤層の弾性率が1×104Pa以上であることを特徴とするダイシング用粘接着テープ。

IPC (4件)：

H01L21/301 ,  C09J7/02 ,  C09J201/00 ,  H01L21/52

FI (4件)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  H01L21/52 E

Fターム (25件)：

4J004AA10 ,  4J004AA13 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040DF061 ,  4J040GA20 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040KA13 ,  4J040LA06 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA30 ,  4J040PA32 ,  5F047BA24 ,  5F047BA33 ,  5F047BB03 ,  5F047BB19

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平2-32181号公報
  
• 粘接着テープおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-189717   出願人：リンテック株式会社

審査官引用 (1件)

• 接着シート、その使用方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-007854   出願人：日立化成工業株式会社