特許

J-GLOBAL ID：200903055195263862

静電チャック

発明者： 伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081186
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277597
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 高電圧印加時や高温使用時であっても、パーティクル発生量の少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 この静電チャック1では、セラミック焼結体14からなる絶縁基材2のチャック面S1に被吸着物W1が静電的に吸着される。セラミック焼結体14よりもずり応力に強い金属材料からなる複数の被吸着物支持体6は、絶縁基材2に固定されている。被吸着物支持体6の一部分6bはチャック面S1に埋まっていて、残りの部分6aがチャック面S1から突出している。

請求項（抜粋）：

セラミック焼結体からなる絶縁基材のチャック面に被吸着物が静電的に吸着される静電チャックにおいて、前記セラミック焼結体よりもずり応力に強い金属材料からなる複数の被吸着物支持体を備えるとともに、前記被吸着物支持体はその一部分が前記チャック面に埋まった状態で前記絶縁基材に突設固定されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D

Fターム (11件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26