特許
J-GLOBAL ID：200903055197591980

アライメントエラー検出方法およびそれを用いた露光処理方法

発明者：
山吉 一司

山吉 一司 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-202876
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024945
出願日： 2005年07月12日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】高精度なエラー検出が可能なアライメントエラー検出方法およびそれを用いた露光処理方法を提供する。【解決手段】複数個の計測点を計測し、これらの計測結果から、計測ズレ量を求める。そして、求められた計測ズレ量から、最小二乗法を用いて、基板の特性を表す特性パラメータを求める。そして、求められた計測ズレ量および求められた特性パラメータから、各計測点における計算上のズレ量である計算ズレ量を求める。求められた計測ズレ量と計算ズレ量との誤差に基づき、各計測点におけるアライメントエラーを検出する。具体的には、この誤差が、EGA重ね合わせ精度に基づく所定の範囲内にない場合には、計測エラーが生じていると判定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上の複数個の計測点において計測される計測ズレ量をそれぞれ求める計測ズレ量求め工程と、 前記計測ズレ量求め工程で求められた各前記計測ズレ量から最小二乗法を用いて前記基板の特性を表す特性パラメータを求める特性パラメータ求め工程と、 前記特性パラメータ求め工程で求められた前記特性パラメータに基く一次式を用いて各前記計測点における計算上のズレ量である計算ズレ量を求める計算ズレ量求め工程と、 前記計測ズレ量求め工程で求められた前記計測ズレ量と前記計算ズレ量求め工程で求められた計算ズレ量との誤差に基づき各前記計測点におけるアライメントエラーを検出するエラー検出工程と を備えるアライメントエラー検出方法。
IPC (3件)：
G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  G02F 1/13
FI (3件)：
G03F9/00 Z ,  H01L21/30 525W ,  G02F1/13 101
Fターム (11件)：
2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097LA12 ,  5F046ED01 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM