特許
J-GLOBAL ID：200903055206751821
ファラデーケージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177662
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020043
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課 題】 複数の照射ビーム源の設定を行えるファラデーケージ装置の提供【解決手段】 複数の照射ビームが通過可能な1段目アパーチャ42aを有する1段目アパーチャ部材42と、前記1段目アパーチャ42aを通過した複数の照射ビームが別々に通過可能な複数の2段目アパーチャ33a,33bを有する箱状に形成されたビーム検出用ゲージGと、1段目アパーチャ部材42およびビーム検出用ゲージGを支持し且つ試料位置を通るホルダ軸回りに回転可能且つ前記ホルダ軸に沿ってスライド可能なホルダHとを備えたファラデーケージ装置。
請求項（抜粋）：
下記の要件を備えたことを特徴とするファラデーケージ装置、(A01)1段目アパーチャ部材およびファラデーケージを支持するとともにホルダ軸方向にスライド移動可能、ホルダ軸回りに回転可能、且つホルダ軸の向きの調節が可能なホルダ、(A02)前記ホルダ軸上に配置された1段目アパーチャを有する前記1段目アパーチャ部材、(A03)前記1段目アパーチャに異なる方向から入射して前記一段目アパーチャを通過した各照射ビームが通過すべき位置にそれぞれ形成された複数の2段目アパーチャを有する導電性の2段目アパーチャ部材、および前記2段目アパーチャを通過した照射ビームを検出する導電性のファラデーカップにより箱状に構成された前記ファラデーケージ。
IPC (3件)：
G01T 1/29
, H01J 37/04
, H01J 37/244
G01T 1/29 B
, H01J 37/04 B
, H01J 37/244
