特許

J-GLOBAL ID：200903055209254330

薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法

発明者： 宇田川 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397706
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195510
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 薬液供給装置から吐出される薬液の量を安定させ、吐出精度を飛躍的に向上させる。【課題解決手段】 ポンプ11は、液体タンク46内に収容された液体を吐出する。フィルタ41は、流路を開閉するポンプ吐出側弁V2が設けられたポンプ出口流路42を介してポンプ11に接続される。塗布ノズル(液体吐出部)50は、流路を開閉する吐出弁V4が設けられた液体吐出流路48を介してフィルタ41に接続される。真空源8は、流路を開閉する脱気弁V3が設けられた排気流路51を介してフィルタ41に連通する。

請求項（抜粋）：

液体タンク内に収容された液体を吐出するポンプと、流路を開閉するポンプ吐出側弁が設けられたポンプ出口流路を介して前記ポンプに接続されるフィルタと、流路を開閉する吐出弁が設けられた液体吐出流路を介して前記フィルタに接続される液体吐出部と、流路を開閉する脱気弁が設けられた排気流路を介して前記フィルタに連通する真空源とを有することを特徴とする薬液供給装置。

IPC (6件)：

G03F 7/16 501 ,  B01D 19/00 101 ,  B01J 4/00 103 ,  B05C 11/10 ,  F04B 53/06 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/16 501 ,  B01D 19/00 101 ,  B01J 4/00 103 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/30 564 Z ,  F04B 21/00 G

Fターム (42件)：

2H025AA18 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  3H071AA01 ,  3H071BB01 ,  3H071BB11 ,  3H071CC11 ,  3H071CC17 ,  3H071CC42 ,  3H071DD22 ,  3H071DD35 ,  3H071DD61 ,  3H071DD62 ,  3H071DD72 ,  3H071DD84 ,  3H071DD89 ,  4D011AA16 ,  4D011AB10 ,  4D011AC04 ,  4D011AD02 ,  4D011AD03 ,  4D011AD06 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AB00 ,  4F042BA06 ,  4F042CA01 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB10 ,  4F042CB19 ,  4F042CB25 ,  4G068AA01 ,  4G068AB15 ,  4G068AC05 ,  4G068AD16 ,  4G068AD21 ,  4G068AF17 ,  4G068AF40 ,  5F046JA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-018958