特許
J-GLOBAL ID：200903055212294548
短パルス光を用いた薄膜評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-120880
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307818
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 非接触にて光学的方法で材料中に発生させた光学的応力パルスを測定する短パルスを用いた薄膜評価装置において、測定時間を短縮する装置を提供する。【構成】 試料中に短パルスのポンプ光2と、該ポンプ光と同期して発する短パルスのプローブ光3と、該プローブ光を遅延させる可変遅延光路5と、該ポンプ光とプローブ光を試料に照射させるための光学系と、試料からの反射光を検出する光検出器を備える短パルス光を用いた薄膜評価装置において、プローブ光を分離する1以上のビームスプリッター9と、該ビームスプリッターにより分離された各々のプローブ光7,8に遅延を与える可変遅延光路10,11と、試料からの各々のプローブ光の反射光を検出する光検出器12,13を備えたことを特徴とする短パルス光を用いた薄膜評価装置である。
請求項（抜粋）：
試料中に短パルスのポンプ光と、該ポンプ光と同期して発する短パルスのプローブ光と、該プローブ光を遅延させる可変遅延光路と、該ポンプ光とプローブ光を試料に照射させるための光学系と、試料からの反射光を検出する光検出器を備える短パルス光を用いた薄膜評価装置において、プローブ光を分離する1以上のビームスプリッターと、該ビームスプリッターにより分離された各々のプローブ光に遅延を与える可変遅延光路と、試料からの各々のプローブ光の反射光を検出する光検出器を備えたことを特徴とする短パルス光を用いた薄膜評価装置。
IPC (2件)：
G01B 11/06
, G01N 29/00 501
