特許

J-GLOBAL ID：200903055214730418

タッチ信号プローブ

発明者： 西村 国俊 ,  日高 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019816
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210613
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】精度を向上させることができるとともに、組み立ての簡易さや温度変化に対する安定性、長期にわたる安定性の確保を達成できるタッチ信号プローブを提供すること。【解決手段】略柱状の振動子2の軸方向固有振動の節近傍に振動子2の固有振動数に略一致した振動数で振動子2を加振する圧電素子4を配置し、振動子2の軸に互いに対向した一対の壁面7Aを有するフランジ部7を振動子2の振動の節近傍に設け、このフランジ部7の間に振動子2の軸と平行な取付面6Aを形成し、フランジ部7の壁面7A間において圧電素子4を取付面6Aと接触するように圧入固定する。これにより、圧電素子4が振動子2に接着剤や半田を使用しないで確実に固定される。

請求項（抜粋）：

先端に被測定物と接触する接触部を有し略柱状に形成された振動子と、この振動子の軸方向固有振動の節近傍に配置されるとともに前記固有振動数に略一致した振動数で前記振動子を加振する圧電素子とを備えたタッチ信号プローブであって、互いに対向した一対の壁面を有するフランジ部を前記振動子の振動の節近傍に設け、このフランジ部の間に前記振動子の軸と平行な取付面を形成し、前記フランジ部の壁面間において前記圧電素子を前記取付面と接触するように圧入固定したことを特徴とするタッチ信号プローブ。