特許
J-GLOBAL ID：200903055216765910
難削材のベベリング加工方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004456
公開番号（公開出願番号）：特開平6-210454
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：
【要約】【構成】 円板状のウエハAを回転させながらその外周エッジ部をベベリング加工する際に、ウエハAの外周部に電解質水溶液Cを供給するとともに、この電解質水溶液Cが供給された外周部に、高温のプラズマジェットEを噴出させる難削材のベベリング加工方法である。【効果】 回転される被加工物であるウエハの外周部に電解質水溶液を滴下させるとともに、この電解質水溶液が滴下された外周部に、高温のプラズマジェットを噴出させるようにしたので、砥石だけによる場合に比べて、ウエハの外周エッジ部の表面を非常に滑らかに加工することができる。
請求項（抜粋）：
円板状の被加工物を回転させながらその外周エッジ部をベベリング加工する際に、被加工物の外周部に電解質水溶液を供給するとともに、この電解質水溶液が供給された外周部に、高温プラズマジェットを噴出させることを特徴とする難削材のベベリング加工方法。
IPC (3件)：
B23K 10/00 501
, B23H 3/00
, H01L 21/304 301
