特許
J-GLOBAL ID：200903055219883425
イオン注入装置におけるウエハ保持機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-236376
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082265
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 インチサイズの異なるウエハの交換をディスクの交換作業を伴うことなく行うことができ、装置の稼働率を向上させる。【解決手段】 イオン注入装置におけるディスクのペデスタル部のウエハ保持機構において、ウエハ支持ピン21と連動する3角形状板23と、この3角形状板23に固定される係合ピン24と、一端が前記3角形状板23に固定され、他端がペデスタル部に固定される引っ張りバネ25と、ペデスタル部の下方に設けられるチャンバー壁に一端が固定される板バネとを具備し、前記ディスクをウエハのロード・アンロード位置に回転、停止させると、前記板バネが前記係合ピン24に当接して、前記3角形状板23を回転させて、前記ウエハ支持ピン21を開き、ウエハをセット後、更に、前記ディスクを回転、停止させると、前記板バネは前記係合ピン24を通過し、前記3角形状板23は前記引っ張りバネ25により引き戻され、前記ウエハ支持ピン21が閉まり、ウエハをチャックするようにしたものである。
請求項（抜粋）：
イオン注入装置におけるディスクのペデスタル部のウエハ保持機構において、(a)ウエハ支持ピンと連動する3角形状板と、(b)該3角形状板に固定される係合ピンと、(c)一端が前記3角形状板に固定され、他端がペデスタル部に固定される引っ張りバネと、(d)ペデスタル部の下方に設けられるチャンバー壁に一端が固定される板バネとを具備し、(e)前記ディスクをウエハのロード・アンロード位置に回転、停止させると、前記板バネが前記係合ピンに当接して、前記3角形状板を回転させて、前記ウエハ支持ピンを開き、ウエハをセット後、更に、前記ディスクを回転、停止させると、前記板バネは前記係合ピンを通過し、前記3角形状板は前記引っ張りバネにより引き戻され、前記ウエハ支持ピンが閉まり、ウエハをチャックすることを特徴とするイオン注入装置におけるウエハ保持機構。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, C23C 14/50
, H01L 21/265
H01J 37/317 B
, C23C 14/48 Z
, C23C 14/50 B
, H01L 21/265 E
