特許
J-GLOBAL ID：200903055223073578
基板とそれに用いるアライメントマーク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111003
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302925
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 個々の小基板に対する位置合わせが正確に行える基板とそれに用いるアライメントマークを提供すること。【構成】 外周部分11よりも内側に設けられた複数の長穴14により区分けされる小基板13が、各長穴14の間に設けられる吊り部12を介して外周部分11に保持され、位置合わせ用のアライメントマーク10がその表面に設けられた基板1において、そのアライメントマーク10を吊り部12に設けるようにする。また、基板1上に少なくとも2つ以上設けるアライメントマーク10として、予め設定された基板1上の設定座標Oを中心として周辺に複数の小マーク10aを配置し、1つのアライメントマーク10を構成する。
請求項（抜粋）：
外周部分よりも内側に設けられた複数の長穴にて区分けされる小基板と、前記各長穴の間に設けられ、前記小基板を保持するための吊り部と、表面に設けられた位置合わせ用のアライメントマークとから成る基板において、前記アライメントマークが前記吊り部に設けられていることを特徴とする基板。
IPC (3件)：
H05K 1/02
, G06F 15/62 405
, H05K 13/00
