特許
J-GLOBAL ID：200903055223292717
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123734
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317550
出願日： 1998年05月06日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 電圧依存性の少ない圧電体素子を提供する。【解決手段】 この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして圧電体層(41)における(001)方位の結晶の分極軸方向が下部電極(32)および上部電極(42)間に生ずる電界の方向と略平行になるように設定されている。このような構造の圧電体素子は、電圧の増加に対して圧電d定数が変動しないので、振動量やインクの吐出量の管理が楽である。
請求項（抜粋）：
下部電極および上部電極の間に結晶化された圧電体層を備える圧電体素子において、前記圧電体層における結晶の分極軸方向が前記下部電極および上部電極間に生ずる電界の方向と略平行になるように設定されていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/22 Z
