特許

J-GLOBAL ID：200903055227916731

静電チャック、静電チャックの吸着表面に形成された凹部への放電防止方法、およびその静電チャックを用いた基板固定加熱冷却装置

発明者： 堀 裕明 ,  建野 範昭 ,  北林 徹夫
出願人/特許権者： 東陶機器株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-029817
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231799
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】基板を吸着する吸着面に形成された凹部に熱伝達ガスを流入しても放電現象の起こらない静電チャックを提供する事である。【解決手段】基板を吸着する吸着面に凹部を形成してなる静電チャックにおいて、前記凹部内部に導電性膜を設けたこと。さらに、前記静電チャックにおいて、前記凹部と、前記静電チャックを貫通し前記凹部とを連通する穴の内部に導電性膜を設けたこと。

請求項（抜粋）：

基板を吸着する吸着面に凹部を形成してなる静電チャックにおいて、前記凹部内部に導電性膜を設けてある事を特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D

Fターム (13件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031HA40 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA21