特許

J-GLOBAL ID：200903055234016665

走査プローブ顕微鏡

発明者： 鈴 木 克 之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377211
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181681
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】 チューブスキャナーの破損を防止した走査プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料5を取り付けた試料載置台6に繋がった熱絶縁筒8とチューブスキャナー7との間に、チューブスキャナーの熱膨張係数に近い熱膨張係数を有し、且つ、堅い材料から成るリング12を介在させる。チューブスキャナー7はリング12の外面に接し、熱絶縁筒8はリング12の内面に接するようにし、それぞれの接合は接着剤で行っている。ヒートコンダクター10を介して試料載置台6が冷却され、該試料載置台6の冷却により試料5が冷却される様に成してある。

請求項（抜粋）：

チューブスキャナー上に熱絶縁材料性部材を介して試料載置台を載せ、試料載置台にセットした試料を探針に接近させて対向配置し、探針と試料との相対的位置を変化させ、探針と試料間の相互作用に基づいて試料表面の像情報を得るように成した走査プローブ顕微鏡において、試料の温度を変化させる手段が設けられており、且つ、チューブスキャナーと熱絶縁材料性部材の間に、チューブスキャナーの熱膨張係数に近い熱膨張係数を有する材料から成る部材を介在させたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/10 D ,  G01B 21/30

Fターム (11件)：

2F069AA60 ,  2F069CC06 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ13 ,  2F069KK07 ,  2F069KK08 ,  2F069LL03 ,  2F069RR03 ,  2F069RR09