特許

J-GLOBAL ID：200903055243763180

OLED連続コーティングマシン

発明者： ディーター マンツ ,  マルクス ベンダー ,  ウーヴェ ホフマン ,  ディーター ハース ,  ウルリッヒ エンクレート ,  ハイノ レーア ,  アヒム グルケ
出願人/特許権者： アプリート フィルムス ゲーエムベーハー ウント コー. カーゲー
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-116398
公開番号（公開出願番号）：特開2006-302898
出願日： 2006年04月20日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】有機エレクトロルミネセント材料(OLED)を有する基板、特にOLEDディスプレイ、スクリーン、パネル、等を特に連続生産するための装置及び方法を提供する。【解決手段】装置は、真空スペースと、コーティングすべき上記基板を搬送するための、少なくとも一部が上記真空スペースに沿って配列されると共に上記基板用のキャリアを有する搬送デバイスとを備えている。上記搬送デバイスは、上記キャリアを搬送するための少なくとも1つのエンドレスループを備えている。上記真空スペースは、第1の部分(3)と第2の部分(4)とを有する少なくとも2つの部分に分割され、上記第1の部分には、上記キャリアを第1の方向(基板搬送方向)に搬送するための、上記搬送デバイスの第1の区域が設けられ、上記第2の部分には、上記キャリアを第2の方向(キャリア戻り搬送方向)に搬送するための、上記搬送デバイスの第2の区域が設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

有機エレクトロルミネセント材料(OLED)を有する基板、特にOLEDディスプレイ、スクリーン、パネル、又はその他の発光素子、を特に連続生産するための装置であって、真空スペースと、コーティングすべき前記基板を搬送するための、少なくとも一部が前記真空スペースに沿って配列されると共に前記基板用のキャリアを有する搬送デバイスとを備えた装置において、 前記搬送デバイスが前記キャリア(40)を搬送するための少なくとも1つのエンドレスループ(140)を備え、前記真空スペースが第1の部分(3、103)と第2の部分(4、104)とを有する少なくとも2つの部分に分割され、前記第1の部分には、前記キャリア(40)を第1の方向(基板搬送方向)に搬送するための、前記搬送デバイスの第1の区域が設けられ、前記第2の部分には、前記キャリアを第2の方向(キャリア戻り搬送方向)に搬送するための、前記搬送デバイスの第2の区域が設けられていることを特徴とする装置。

IPC (2件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (2件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (6件)：

3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG00 ,  3K107GG31 ,  3K107GG33 ,  3K107GG42