特許
J-GLOBAL ID：200903055247423197
カセット内に収納された基板の検出機構および検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-207666
公開番号（公開出願番号）：特開2005-064055
出願日： 2003年08月18日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】FOUPカセット内に収納されている基板の収納状態を判別できる検出機構。【解決手段】ロ-ドポ-ト装置2の載置部に設けられたFOUPカセット5内に収納された複数枚の基板wの存在をシャッタ20の昇降時に一対の反射型光センサ40,40より光を照射し、基板からの反射光を一対の反射型光センサの両方が受光したときを「基板正常に存在」とし、両方の反射型光センサが受光しないときは「基板不存在」とし、一方の反射型光センサが受光し、他方の反射型光センサが受光しないときは「基板の段部位置ズレ」と検出する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板の処理装置と該処理装置へ基板を搬送する搬送ロボットとをハウジング材で囲繞した室内に備える基板処理装置の前記ハウジング材の外側に設けられたロ-ドポ-ト装置の載置部に設けられたカセット内の段部に収納された複数枚の基板の存在有無を検出する検出機構であって、
光を照射する投光部と該投光部から照射され前記カセット内の基板により反射された光を受光する受光部を有する反射型光センサの一対を、前記ハウジング材に設けられた基板通過口を開閉する昇降可能なシャッタの前記カセット面に対向する面側の上部の左右にカセットに収納された基板の中心軸に光が照射されるように設置したことを特徴とする基板の検出機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031HA59
, 5F031JA06
, 5F031JA23
, 5F031JA36
, 5F031LA07
, 5F031MA22
, 5F031NA07
