特許
J-GLOBAL ID：200903055247636468
液晶装置の製造方法、液晶装置及び電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-027261
公開番号（公開出願番号）：特開2007-206535
出願日： 2006年02月03日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】信頼性が高く配向力に優れた配向膜を量産性良く形成可能な液晶装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の液晶装置の製造方法は、配向膜の形成工程が、スパッタ装置203を用い、ターゲット205から被処理体となる基板W上に無機材料からなる配向膜材料を斜めに放出させて、前記基板W上に、該基板Wの法線方向に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造体を有する無機配向層を形成する工程と、前記無機配向層の表面をシランカップリング剤又はアルコールで表面処理し、前記無機配向層の表面に、該無機配向層と化学結合した有機材料の単分子膜からなる有機配向層を形成する工程と、を有する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
対向する一対の基板間に液晶を挟持してなり、前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板の内面側に配向膜を形成してなる液晶装置の製造方法であって、
前記配向膜の形成工程は、
スパッタ装置を用い、ターゲットから被処理体となる前記基板上に無機材料からなる配向膜材料を斜めに放出させて、前記基板上に、該基板の法線方向に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造体を有する無機配向層を形成する工程と、
前記無機配向層の表面をシランカップリング剤又はアルコールで表面処理し、前記無機配向層の表面に、該無機配向層と化学結合した有機材料の単分子膜からなる有機配向層を形成する工程と、を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。
IPC (1件)：
FI (3件)：
G02F1/1337 505
, G02F1/1337 515
, G02F1/1337 530
2H090HA16
, 2H090HB02Y
, 2H090HB12Y
, 2H090HC01
, 2H090HC18
, 2H090KA05
, 2H090KA07
, 2H090MA10
, 2H090MA13
, 2H090MB06
, 2H090MB14
